實(shí)驗(yàn)室高低溫真空探針臺的技術(shù)參數(shù)可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動，器件的高頻特性(支持頻率上達(dá)67GHz)，探針熱沉設(shè)計，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。
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應(yīng)用范圍：
錦正茂高低溫真空探針臺高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等。
可選附件：
t 防震桌
t 多級壓縮制冷機(jī)
t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運(yùn)動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
型號
T81-50探針臺
T80-50探針臺
制冷方式
液氦/液氮制冷
閉循環(huán)制冷機(jī)
腔體材質(zhì)
無磁不銹鋼或者鋁合金
真空度
真空上等高達(dá)10-8Pa
真空腔觀察窗尺寸
2inch（可選）
控溫范圍
4.2K-450K
5K-450K
控溫分辨率
0.001K控溫儀相關(guān)
溫度穩(wěn)定性
0.1K控溫儀相關(guān)
降溫時間
40min
150min內(nèi)，視制冷機(jī)功率定
溫度傳感器
硅二極管、PT100（3個，樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個）
加熱電源
LVDC 低壓直流
樣品臺材質(zhì)
鍍金無氧銅
樣品臺尺寸
直徑20-50mm，可選100mm
樣品臺平整度
≤7μm
樣品臺固定方式
固定的樣品臺（可升級隨位移臺移動）
樣品臺振動級別
≤50納米
≤1μm（三級減震）
探針臂數(shù)量
2個、4個、6個、8個可選
探針臂機(jī)械精度
±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm（可選）
探針種類
鎢、鈹銅、微波探針（可選高達(dá)67GHz的GSG探針）
探針調(diào)節(jié)
真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動控制
放大倍數(shù)
16~100X/20~4000X
顯微鏡行程
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm
電力需求
220V 50-60Hz
京公網(wǎng)安備 11010602006210號
